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    石墨烯制備裝備 Equipments

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    BGI裝備研發中心以放大各種實驗室小試階段成功的薄膜材料制備技術為基礎,開發多種規格石墨烯材料大批量、工業化制備技術。根據市場需求,推出基于不同應用領域及終端市場的新型裝備,推動石墨烯產業和高端智能裝備產業的共同進步。

    The BGI Equipment R&D Center has developed different types of equipment which according to the market demands  in various application fields.

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    石墨烯薄膜材料自動化檢測設備

    CVD graphene automatic testing equipment


    最大測量面積∶50x50(cm)

    Max testing area50 cm × 50 cm   

    可同步獲取石墨烯薄膜的光學透光率和面電阻

    Simultaneously obtain transmittance and sheet resistance data

    可實現面掃描式的多點快速測量

    Surface scanning multi-point fast test

    可實時輸出石墨烯薄膜材料參數數據,并顯示云圖

    Real-time data output, with cloud images



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    A3尺寸石墨烯薄膜批量制備裝備

    Large Size CVD Graphene Growth System


    使用溫度∶RT-1150℃

    樣品尺寸∶29.7×42((cm2)

    單晶疇區尺寸∶>500μm

    用于實現大單晶疇區石墨烯薄膜的快速批量制備


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    單晶石墨烯晶圓爐

    使用溫度∶RT-1150℃

    樣品尺寸∶4英寸、6英寸

    用于生長4、6英寸單晶石墨烯晶圓


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    通用石墨烯薄膜電化學鼓泡分離裝備

    Graphene Transfer Equipment

    最大處理尺寸∶29.7×42(cm)

    裝備優勢∶10分鐘內即可實現石墨烯與金屬生長襯底的快速無損分離



    地址:北京市海淀區蘇家坨鎮翠湖南環路13號院中關村翠湖科技園2號樓

    郵編:100095 電話:010-83432600

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